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高频压力传感器工作原理

发布日期:2023-02-27

高频压力传感器是一种能够测量高速变化的压力信号的传感器。它有多种类型和结构,其中一种常见的是MEMS压力传感器

它的工作原理是:

压力传感器利用压阻效应原理,即当材料受到应力时,其电阻值会发生变化;

压力传感器采用三维集成电路工艺,在单晶硅片薄膜上制成四个应变电阻,构成一个惠斯通检测电桥;

当被测介质施加压力时,桥壁电阻值发生变化,产生一个差动电压信号;

这个信号经专用放大和滤波处理后,输出一个与压力成正比的模拟或数字信号。

压力传感器具有体积小、重量轻、响应速度快、灵敏度高等特点,适用于汽车、航空、医疗等领域的高频动态压力测量。

高频压力传感器

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